·歷史回顧：

25年前，1997年5月29日至6月2日，中國(guó)大陸半導(dǎo)體界29人經(jīng)香港到臺(tái)灣新竹參加《兩岸半導(dǎo)體學(xué)術(shù)研究與產(chǎn)業(yè)發(fā)展研討會(huì)》，從此推進(jìn)了兩岸半導(dǎo)體、尤其是集成電路行業(yè)之間的交流與合作快速向前發(fā)展。這次會(huì)議由臺(tái)灣電子材料與元件協(xié)會(huì)（EDMA）發(fā)起主辦，中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)（CSIA）配合組團(tuán)赴臺(tái)參會(huì)。會(huì)前EDMA秘書(shū)長(zhǎng)馮明憲和CSIA秘書(shū)長(zhǎng)陳文華做了大量籌備工作。大陸代表團(tuán)由CSIA理事長(zhǎng)樓潔年任團(tuán)長(zhǎng)，包含大學(xué)7人、研究所10人、.工廠公司7人、政府機(jī)關(guān)3人和協(xié)會(huì)2人。其中包括當(dāng)時(shí)大陸主要的集成電路企業(yè)：華晶、華越、貝嶺、首鋼日電，以及燕東。臺(tái)灣方面參加38人，包括主要集成電路公司（臺(tái)積電、聯(lián)華電子、茂矽、茂德、旺宏和世界先進(jìn)）、大學(xué)和研究單位。

研討會(huì)上主要報(bào)告有張俊彥（EDMA理事長(zhǎng)）所作“臺(tái)灣半導(dǎo)體之技術(shù)現(xiàn)況與未來(lái)展望”和鄭敏政（中國(guó)電子工業(yè)部基礎(chǔ)產(chǎn)品司副司長(zhǎng)）所作“大陸集成電路發(fā)展策略”。然后，會(huì)議分三組進(jìn)行學(xué)術(shù)研究和產(chǎn)業(yè)發(fā)展論文宣講。會(huì)議經(jīng)過(guò)討論后取得今后在半導(dǎo)體領(lǐng)域開(kāi)展合作的共識(shí)，合作內(nèi)容包括臺(tái)灣協(xié)助大陸發(fā)展集成電路生產(chǎn)，提高量產(chǎn)效益，在集成電路產(chǎn)業(yè)上引

進(jìn)資金、人才和技術(shù)等。

新竹會(huì)議之后不久，臺(tái)灣方面組織了“大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資考察訪問(wèn)團(tuán)”，于1997年7月21日至8月3日先后訪問(wèn)了北京和上海。由茂矽電子公司高級(jí)顧問(wèn)蔡南雄任團(tuán)長(zhǎng)，團(tuán)員包括EDMA秘書(shū)長(zhǎng)馮明憲和各公司總經(jīng)理、副總經(jīng)理。這次考察探討了臺(tái)灣集成電路產(chǎn)業(yè)界來(lái)大陸投資設(shè)硅片加工廠的可能性。在拜訪電子工業(yè)部時(shí)，部總工程師俞忠鈺則建議先到國(guó)有的兩大集成電路企業(yè)：無(wú)錫華晶集團(tuán)和紹興華越公司，探討合作的可能性。為此，考察團(tuán)到上海后又去了江蘇無(wú)錫，參觀訪問(wèn)了華晶集團(tuán)公司，從此揭開(kāi)了兩岸半導(dǎo)體合作的序幕。

·合作舉例：

一、 華晶上華

華晶集團(tuán)公司在20世紀(jì)90年代后半期頭兩三年執(zhí)行國(guó)家的“908”工程，從美國(guó)郎迅公司引進(jìn)0.9微米CMOS工藝技術(shù)6英寸芯片生產(chǎn)線。但引進(jìn)的產(chǎn)品缺乏市場(chǎng)，沒(méi)法形成規(guī)模生產(chǎn)，而且原有5英寸MOS線連續(xù)幾年處于虧損狀態(tài)。1997年9月底開(kāi)始，蔡南雄、馮明憲和蕭常輝（原香港華智公司）等人組成的海外華人代表團(tuán)與華晶開(kāi)始談判。后來(lái)美籍華人陳正宇博士（臺(tái)灣茂矽總經(jīng)理）代替蔡南雄帶領(lǐng)談判，前后經(jīng)過(guò)四個(gè)半月多次談判，到12月18日雙方就合作運(yùn)行華晶5英寸和6英寸MOS電路芯片工藝線達(dá)成協(xié)議。海外華人半導(dǎo)體企業(yè)家和專家在香港成立了上華半導(dǎo)體投資公司，于1998年2月1日開(kāi)始以“來(lái)料加工、委托管理”模式管理華晶MOS事業(yè)部。上華將過(guò)去華晶采用的IDM（垂直集成）管理模式改為Foundry（代工）模式。這種代工模式是臺(tái)灣臺(tái)積電公司于1987年在世界上首創(chuàng)的，大陸地區(qū)的純粹加工模式則是上華管理華晶MOS事業(yè)部開(kāi)始的。陳正宇請(qǐng)美籍華人張汝京擔(dān)任副總經(jīng)理，由他帶來(lái)團(tuán)隊(duì)建立了一套做代工的管理制度。之后又請(qǐng)回蔡南雄擔(dān)任總經(jīng)理，將6英寸片月產(chǎn)片量提高到5000片。華晶與上華后來(lái)成立華晶上華合資公司，到2002年香港華潤(rùn)集團(tuán)收購(gòu)華晶后改為華潤(rùn)上華公司，又在無(wú)錫新區(qū)建了8英寸線，持續(xù)不斷地向前發(fā)展。

二、 清華大茂

清華大學(xué)微電子所所長(zhǎng)錢佩信教授參加兩岸半導(dǎo)體研討會(huì)后，探索與臺(tái)灣同仁合作的路子，從1998年9月開(kāi)始與臺(tái)灣交通大學(xué)馮明憲教授為首的團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)8個(gè)月的談判，到1999年4月28日雙方簽署了合作協(xié)議書(shū)。對(duì)方是馮明憲任董事長(zhǎng)的大茂電子公司。大茂協(xié)助清華建設(shè)5英寸線，使其成為能小批量生產(chǎn)的、科研與生產(chǎn)相結(jié)合的工藝線。經(jīng)過(guò)提升凈化間凈化條件后安裝調(diào)試設(shè)備，通過(guò)工藝試驗(yàn)轉(zhuǎn)入流線。最后將鋁柵CMOS芯片月產(chǎn)量達(dá)到3000片5英寸片的水平。雙方合作結(jié)果將過(guò)去只能出樣品和禮品的科研線建成能出產(chǎn)品、并能進(jìn)入市場(chǎng)的小批量生產(chǎn)線。

三、 滬京新案

      到二十世紀(jì)末，中國(guó)大陸電子工業(yè)[敏感詞]投資項(xiàng)目909工程于1999年2月23日在上海浦東金橋

建成中國(guó)大陸[敏感詞]條8英寸超大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線，這是華虹NEC合資公司執(zhí)行的，投產(chǎn)后生產(chǎn)DRAM產(chǎn)品。國(guó)務(wù)院于2000年6月底公布18號(hào)文件《鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》后，北京和上海兩地積極響應(yīng)。上海早在1998年就在西郊賓館召開(kāi)了微電子工業(yè)發(fā)展國(guó)際研討會(huì)。

張汝京在北京大學(xué)王陽(yáng)元院士陪同下到上海，于2000年4月創(chuàng)立中芯國(guó)際公司，張汝京出任總裁兼
CEO，從海內(nèi)外募集資金，吸引大批海外華人半導(dǎo)體技術(shù)人員來(lái)到張江，高速度建起了3條8英寸芯片生產(chǎn)線。緊接著上海成立另一家宏力公司，由蔡南雄出任總經(jīng)理，到2003年9月也建成一條8英寸芯片生產(chǎn)線。北京則請(qǐng)回中芯國(guó)際張汝京于兩年時(shí)間內(nèi)在亦莊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)建成了中國(guó)大陸[敏感詞]條12英寸芯片生產(chǎn)線，在2004年9月底開(kāi)始投入生產(chǎn)。這距世界1999年建成[敏感詞]條12英寸線僅5年之后。從此中芯國(guó)際迅速成長(zhǎng)為中國(guó)大陸集成電路制造企業(yè)的領(lǐng)頭羊，無(wú)論在技術(shù)水平上、還是產(chǎn)量規(guī)模上，都位居[敏感詞]。

四、 寧波中緯

國(guó)家發(fā)布18號(hào)文件之后，馮明憲等人組建的亞太科技公司在2002年到浙江寧波保稅區(qū)籌建6英寸廠。從臺(tái)灣臺(tái)積電公司引進(jìn)其一廠的6英寸工藝設(shè)備和技術(shù)，于2004年7月投產(chǎn)。這是浙江省[敏感詞]條6英寸線。這是臺(tái)灣獨(dú)資性質(zhì)，也采用代工模式，盡管產(chǎn)品質(zhì)量?jī)?yōu)良，后因銀行貸款到期還不了而被拍賣給比亞迪，之后成為比亞迪汽車自用IGBT產(chǎn)品的生產(chǎn)基地。

·交往延續(xù)：

在2003年年末，亞太科技公司邀請(qǐng)大陸集成電路設(shè)計(jì)公司和潔凈廠房設(shè)計(jì)公司組團(tuán)，在中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)秘書(shū)長(zhǎng)徐小田帶領(lǐng)下去臺(tái)灣進(jìn)行訪問(wèn)，參訪了臺(tái)灣相應(yīng)的公司，進(jìn)行了交流，加深了友誼。

到了2013年11月27日，在臺(tái)灣南投舉辦了第二次兩岸半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研會(huì)議。這次會(huì)議由臺(tái)灣電子材料與元件協(xié)會(huì)、敏泰科技公司及臺(tái)灣暨南大學(xué)籌備。大陸方的主要代表為中國(guó)科學(xué)院微電子所及半導(dǎo)體所，由微電子所所長(zhǎng)葉甜春研究員領(lǐng)隊(duì)，共計(jì)25人。清華大學(xué)微電子所所長(zhǎng)魏少軍教授（曾參加[敏感詞]次新竹會(huì)議）和廈門大學(xué)電子工程系/廈門電子學(xué)會(huì)郭東輝教授也參加了這次會(huì)議。會(huì)中除了專業(yè)技術(shù)報(bào)告及合作研討之外，還作出兩項(xiàng)提議：一是下次兩岸產(chǎn)學(xué)研合作會(huì)議在廈門舉行，由廈門大學(xué)及廈門電子學(xué)會(huì)主辦；二是在廈門推進(jìn)建立兩岸半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研的合作示范基地。會(huì)后經(jīng)兩岸的授權(quán)代表：臺(tái)灣電子材料與元件協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)鄭晃忠教授及廈門電子學(xué)會(huì)會(huì)長(zhǎng)郭東輝教授共同簽署了“共建廈門兩岸電子科技創(chuàng)新園”的合作協(xié)議。當(dāng)年同時(shí)，在臺(tái)北也召開(kāi)了兩岸合作會(huì)議，由前臺(tái)灣清華大學(xué)校長(zhǎng)/臺(tái)灣行政機(jī)構(gòu)負(fù)責(zé)人劉兆玄創(chuàng)辦的李國(guó)鼎基金會(huì)邀請(qǐng)大陸科技部部長(zhǎng)萬(wàn)鋼率領(lǐng)的科技部委組成的訪問(wèn)團(tuán)，雙方進(jìn)行交談。之后促成了后來(lái)廈門聯(lián)芯、合肥晶合、南京臺(tái)積電和晉江晉華四座12英寸芯片廠計(jì)劃和推進(jìn)落地。同時(shí)也促進(jìn)兩岸清華大學(xué)在廈門推動(dòng)成立廈門清華海峽研究院的創(chuàng)立運(yùn)作，成為兩岸半導(dǎo)體科研教學(xué)合作的主要承載平臺(tái)。

之后，2014年間又分別在北京中科院微電子所（4月10日和5月20日）和廈門火炬高新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)管委會(huì)及創(chuàng)業(yè)中心（6月24日和10月16日）舉行四次項(xiàng)目推進(jìn)會(huì)。兩岸雙方都有眾多單位參加。到了近幾年，這項(xiàng)提議具體展示為在廈門/金門地區(qū)建立廈門（金門）兩岸微電子創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園的兩岸半導(dǎo)體產(chǎn)官學(xué)研的合作平臺(tái)，現(xiàn)正在積極推進(jìn)中。

2015年3月30日臺(tái)灣交通大學(xué)原校長(zhǎng)張俊彥院士和臺(tái)灣清華大學(xué)研發(fā)長(zhǎng)張翼等一行到北京參訪了中科院微電子所和清華大學(xué)，進(jìn)行了學(xué)術(shù)交流。

21世紀(jì)以來(lái)，在20余年間，當(dāng)中國(guó)大陸大力發(fā)展集成電路制造業(yè)時(shí)，海外華人半導(dǎo)體技術(shù)人才紛紛到中國(guó)大陸來(lái)發(fā)揮才能。當(dāng)初中芯國(guó)際和宏力兩公司在上海張江園區(qū)建設(shè)之時(shí)，成百上千海外專業(yè)人才從美國(guó)、新加坡、中國(guó)臺(tái)灣和和香港飛來(lái)上海。參加1997年新竹會(huì)議的林大野（美籍華人，當(dāng)年任臺(tái)灣茂德專案經(jīng)理）于2005年9月加盟深圳方正微電子公司，在其帶動(dòng)下，先后有8名臺(tái)灣和1名美籍技術(shù)人員加入，初步形成技術(shù)團(tuán)隊(duì)，和大家一起努力在深圳方正微建成一條6英寸芯片生產(chǎn)線。另一位是參加會(huì)議的梁孟松，當(dāng)年任臺(tái)積電公司處長(zhǎng)，他于2017年10月16日由中芯國(guó)際宣布被任命為聯(lián)合CEO兼執(zhí)行董事，4年多來(lái)帶領(lǐng)研發(fā)團(tuán)隊(duì)在短期內(nèi)把14納米投入量產(chǎn)，并在沒(méi)有EUV光刻機(jī)的條件下沖剌7納米工藝技術(shù)。

·重大進(jìn)展：

從1997年5月29日召開(kāi)臺(tái)灣新竹交流研討會(huì)迄今已過(guò)去25年，中國(guó)大陸和臺(tái)灣地區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)都有了很大發(fā)展，兩岸半導(dǎo)體界合作項(xiàng)目和臺(tái)灣企業(yè)到大陸設(shè)廠也愈來(lái)愈多。早在2001年11月從聯(lián)電出來(lái)的臺(tái)灣團(tuán)隊(duì)就在江蘇蘇州成立和艦科技公司，建設(shè)一條8英寸芯片生產(chǎn)線。緊接著2003年8月臺(tái)積電（中國(guó)）有限公司在上海松江成立，也建設(shè)一條8英寸芯片生產(chǎn)線。到2014年6月國(guó)務(wù)院發(fā)布24號(hào)文件《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》，并設(shè)立國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金一期之后，由此拉開(kāi)了中國(guó)大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)騰飛的序幕。臺(tái)灣企業(yè)與大陸地方政府經(jīng)過(guò)多年溝通談判，紛紛到大陸來(lái)建12英寸廠。先有聯(lián)電于2014年10月到福建廈門合作建聯(lián)芯公司，做代工。再是力晶公司于2015年5月到安徽合肥合作建晶合公司，生產(chǎn)液晶面板LCD驅(qū)動(dòng)電路。然后臺(tái)積電公司于2016年5月到江蘇南京成立臺(tái)積電（南京）公司，獨(dú)資建12英寸廠，技術(shù)為16納米。再是聯(lián)電又于2017年到福建晉江合作成立晉華公司，做DRAM產(chǎn)品?，F(xiàn)今臺(tái)灣臺(tái)積電公司在集成電路制造技術(shù)水平上居[敏感詞]地位，5納米芯片已經(jīng)量產(chǎn)，3納米芯片即將投入生產(chǎn)，2納米技術(shù)研發(fā)進(jìn)展順利。臺(tái)積電承擔(dān)全球一半的代工量。中國(guó)大陸中芯國(guó)際14納米已經(jīng)量產(chǎn)，在美國(guó)限制荷蘭ASML公司不向中國(guó)交付EUV光刻機(jī)的局面下，中芯國(guó)際仍努力研發(fā)7納米技術(shù)。中芯國(guó)際已成為世界第四大代工企業(yè)。

·展望愿景：

回想25年前參加研討會(huì)的兩岸半導(dǎo)體業(yè)者和會(huì)后在兩岸交流中作出重大貢獻(xiàn)者，有的已離我們而去，如臺(tái)灣的張俊彥院士和陳正宇博士，大陸的13所梁春廣院士、CSIA前秘書(shū)長(zhǎng)陳文華和參會(huì)時(shí)的華越陳賢（后任CSIA秘書(shū)長(zhǎng)和副理事長(zhǎng)）。他們生前努力付出的兩岸半導(dǎo)體交流和合作活動(dòng)在未來(lái)的年代里必將長(zhǎng)遠(yuǎn)地發(fā)展下去！讓我們大家在未來(lái)的時(shí)日里一起努力，祝愿在兩岸半導(dǎo)體交流與合作領(lǐng)域里開(kāi)出更大更多的花朵，結(jié)出更大更多的碩果！

                          朱貽瑋 
                                2022年5月29日

 

說(shuō)明：兩岸半導(dǎo)體界聯(lián)系歷史過(guò)程：

·1991年冬天，蔡南雄在吳沈棟（清華大學(xué)無(wú)線電專業(yè)1957級(jí)）陪同下到北京西宛飯店見(jiàn)北京燕東公司副總經(jīng)理朱貽瑋（清華大學(xué)半導(dǎo)體專業(yè)1957級(jí)），當(dāng)時(shí)蔡南雄任香港華智公司總經(jīng)理。香港華智前身是愛(ài)卡公司，這是由北京電子管廠王正華、王思詳、葉小琳等人（三位都是清華大學(xué)校友：電機(jī)系1952級(jí)、半導(dǎo)體專業(yè)1956級(jí)和1957級(jí)）協(xié)助榮智?。s毅仁之子）建的4英寸芯片線。后來(lái)參加香港上華公司到無(wú)錫華晶工作的蕭常輝和余楚榮都在愛(ài)卡和華智工作過(guò)。

·1996年8月，臺(tái)灣電子材料與元件協(xié)會(huì)秘書(shū)長(zhǎng)馮明憲（臺(tái)灣清華大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)系1978年入學(xué)）到北京凱賓斯基飯店見(jiàn)電子工業(yè)部徐小田處長(zhǎng)，提出邀請(qǐng)大陸半導(dǎo)體同仁到臺(tái)灣開(kāi)交流會(huì)。后由中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)秘書(shū)長(zhǎng)陳文華與馮明憲保持聯(lián)系赴臺(tái)事宜。原提去50人，國(guó)臺(tái)辦批準(zhǔn)為30人。清華大學(xué)微電子所所長(zhǎng)錢佩信（半導(dǎo)體專業(yè)1955級(jí)）提出高校和研究單位建議名單，朱貽瑋提出工廠公司建議名單，最后由行業(yè)協(xié)會(huì)定下30人名單。由行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)樓潔年（清華大學(xué)半導(dǎo)體1956級(jí)）領(lǐng)隊(duì)，共29人于1997年5月29日到臺(tái)灣新竹參加會(huì)議。大會(huì)上代表大陸方面作主要報(bào)告的是電子工業(yè)部基礎(chǔ)產(chǎn)品司副司長(zhǎng)鄭敏政（清華大學(xué)半導(dǎo)體專業(yè)1963級(jí)）。

免責(zé)聲明：本文原創(chuàng)作者朱貽瑋，本文僅代表作者個(gè)人觀點(diǎn)，不代表薩科微及行業(yè)觀點(diǎn)，只為轉(zhuǎn)載與分享，支持保護(hù)知識(shí)產(chǎn)權(quán)，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明原出處及作者，如有侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系我們刪除。