量測三件套：線寬、套刻、膜厚 *設備供應商產(chǎn)品全收錄

半導體行業(yè)綜研|Semiconductor industry|

2024-09-14 15:08:08 517

今天還是回到我眼前*主要工作的內(nèi)容上：半導體檢測、量測設備的行業(yè)數(shù)據(jù)收集整理上來

這次是打算把量測領域里面*常見和主流的三大類設備分類和供應商數(shù)據(jù)整理清楚，給大家一個清楚的參考

上周，我做了一個關鍵尺寸/線寬（Critical Dimention）和套刻精度（Overlay）的量測設備的供應商數(shù)據(jù)整理。發(fā)布之后讀者反響很不錯，也給了我一些修改意見和補充信息

我花了些時間把數(shù)據(jù)好好修正了一下，再發(fā)一版供大家參考

另外，為了讓內(nèi)容更加豐富，這次也一并把膜厚的量測設備（包含介質(zhì)層和金屬薄膜兩個不同類型）數(shù)據(jù)也加上去 -- 這樣一來，三件套就湊齊了

這個數(shù)據(jù)收集整理不容易，網(wǎng)上其它地方應該是找不到這么詳細的。所以希望能給大家?guī)砀鄥⒖?br/>

注）OCD量測設備的分類各家觀點不同，有的觀點認為IB和DB是針對套刻精度的，OCD一般按照2D、3D來區(qū)分比較好。我權(quán)衡了一下，暫時還是先保留目前分類方式。后續(xù)如果有機會，再把2D/3D應用的信息補充完整。希望大家理解

具體分類名稱的解釋參見下表

正式數(shù)據(jù)如下

當然，上表中的內(nèi)容只是我整體數(shù)據(jù)中的很小一部分。完整的檢測、量測設備供應商、產(chǎn)品數(shù)據(jù)的完整表格（已經(jīng)收錄*105家供應商信息）如下（樣品僅供參考）

如果您對完整數(shù)據(jù)表格感興趣，歡迎來我知識星球交流。如果只需要這個大表的高清截圖，也可以公眾號后臺私信我，或者和我微信交流

上述完整版檢測量測設備商數(shù)據(jù)表格的的EXCEL文數(shù)據(jù)文檔都放到我的知識星球上供會員參考

而這個表格也只是我多年以來積累的行業(yè)數(shù)據(jù)中的非常微小的一部分而已后續(xù)各類數(shù)據(jù)，我都會陸續(xù)在知識星球上發(fā)布，并保存到網(wǎng)盤供付費用戶長期使用。而且數(shù)據(jù)會不斷更新和完善

目前已經(jīng)完成上傳和后續(xù)規(guī)劃中的數(shù)據(jù)如下：

免責聲明：本文采摘自“半導體綜研”，本文僅代表作者個人觀點，不代表薩科微及行業(yè)觀點，只為轉(zhuǎn)載與分享，支持保護知識產(chǎn)權(quán)，轉(zhuǎn)載請注明原出處及作者，如有侵權(quán)請聯(lián)系我們刪除。

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